看a网站-看成年全黄大色黄大片-看纯日姘一级毛片-看个毛片-看黄免费在线-看黄色一级大片

?

馬力資訊

當前位置:首頁 > 新聞資訊 > 馬力資訊

干式無油真空泵

點擊:2436 日期:2018-04-10 選擇字號:
         在近二三十年來的高真空系統中,由高真空油擴散泵和作為前級泵的油封式機械泵組成的排氣系統,在各工業部門得到了普遍應用。在這樣的真空系統中不可避免地要發生油蒸氣的返流、使真空容器遭到污染,而且在真空容器中進行作業所用的工藝氣體會在油中溶解,工藝過程反應生成的顆粒狀副產物也會在油中積聚,使油本身變質劣化。
         近來,半導體芯片制造產業發展提出的要求,作為高真空泵不能有油蒸氣存在,因此無油的渦輪分子泵、復合分子泵在該領域得到了廣泛的應用。但是,前級泵還沒有真正解決真空系統無油污染的技術難題。1984年以前研制過一些實驗室和專門用途的干式泵。但價格昂貴、運行間隙過小,很難在商業上推廣應用。國外首先研制了工業上實用的干式真空泵,將羅茨泵進行六級串聯。之后又出現羅茨和爪型轉子組合起來的無油泵。總之,相繼出現了多種型式的干式泵,主要應用于半導體產業。

 干式真空泵也稱為無油真空泵。在泵的抽氣流道中,不能使用任何油類和液體。排氣口與大氣相通,能連續向大氣中排氣。能產生10.2Pa壓力范圍的真空。

            現在市場上提供的干式真空泵種類很多。可分為兩類:容積式和動量傳輸式,如圖2-7所示。容積式無油真空泵,如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1~10Pa,抽速為0.01~0.04m3/s。動量傳輸式的無油真空泵,如渦輪式無油泵。

干式真空泵是未來行業發展的趨勢,雖然現在用的還不多,除了價格高原因外,還有用戶對干式真空泵的了解不到位,看不到帶給企業的未來經濟效益,小編在這里著重講下干式真空泵怎么進行優化選擇?
    對于這些不同類型的干式真空泵,我們都渴望能夠將其物理尺寸減小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾,因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比,物理尺寸小意味著容積也小。當然,還有一個影響真空泵的抽氣速率的重要因素,那就是轉速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配,就需要提高它的轉速。而想要改變真空泵的轉速有兩種方法,一是改變電源的頻率,即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中,采用變頻器的好處是可以提供一個閉環控制,但在大負載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經濟的方法,當然,它只能提供不可控的單一轉速。

      現在,可以看到干式真空泵有著如此多的不同設計,它們各自有著自己的特性和優缺點。一直以來,使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應該將真空泵運行的穩定性考慮進去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低,影響到晶圓的生產和交貨期,甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設計為單級設計,同多級泵如圓裂片式,爪式以及組合式相比,其在零件的使用數量上減少了60%。這使得其在穩定性和將來的維修成本上有很大的優勢。
     綜合考慮,如果用戶認為耗電量對他來說最為重要而氮氣用量對他來說最不重要,那么選擇內部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來,對尾氣處理越來越嚴格的要求使得將來對減少氮氣的用量變得更重要。如果你希望用單一類型的泵不經過改變來處理各種不同的半導體工藝,而使得你的庫存控制簡單化,那么外部壓縮型螺桿式是你最好的選擇。
       根據具體情形,綜合以上所有設計類型的優點一定是最理想的選擇,但目前還不太可能。因此,這就要求使用者首先要知道在干式泵的設計上有著如此多的不同設計類型,進而根據自身工藝特點了解各種不同類型泵的設計對其影響。這樣做出的選擇才能夠盡可能降低其使用成本,而獲得一個壽命較長的穩定的真空系統

此文關鍵詞: 干式無油真空泵|無油真空泵
?
24小時咨詢熱線:400-833-1195
路遙知馬力,品質見證臺冠
主站蜘蛛池模板: 免费污视频在线观看| 免费看成人国产一区二区三区| 免费看片黄| 狠狠操综合网| 国产swag在线观看| 4huh34四虎最新久| 亚洲你xx我xx网站| 一区二区三区在线播放视频| 亚洲成人免费视频| 日韩一区二区三区中文字幕| 欧美激情日本一道免费视频| 久久精品国产清白在天天线| 国产亚洲欧美在在线人成| 成人国产精品一级毛片视频 | 久草视频在线免费看| 国产精品视频99| 99久久精品国内| 亚洲曰本大成网站mmm| 特级毛片免费视频观看| 欧美一级美片在线观看免费| 久久久久毛片免费观看| 国产亚洲精品在天天在线麻豆| 爱久久www.35669| 一级色网站| 日韩欧美小视频| 另类色视频| 国产呦系列 欧美呦 日韩呦| 不卡中文字幕| 夜夜操天天干| 四虎视频国产在线观看| 欧美日本一级在线播放| 久草免费在线视频观看| 波多野结衣与公中出中文字幕| 亚洲精品www| 日本乱人伦片中文字幕三区 | 精品久久免费观看| 福利午夜在线| 一区二区三区四区免费视频| 日韩欧美一级毛片在线| 久操视频在线观看免费| 国产 在线 | 日韩|